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光伏/半導體超純水設備設計特點


分類: 行業資訊

分類: 行業新聞

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發布時間:2022-09-15 10:57

一、設備簡介

半導體超純水設備是應用於半導體生產零件清洗的超純水設備,需要符合特定的用水水質標準,半導體超純水設備出水水質要符合美國ASTM純水水質標準、中國電子工業電子級水質技術標準(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm)、半導體工業用純水指標、集成電路水質標準。上海亚洲线精品一区二区三区八戒在滿足用戶用水標準的基礎上,在純水設備係統中水箱均設有液位控製係統、水泵均設有壓力保護裝置、在線水質檢測控製儀表、電氣采用PLC可編程控製器,真正做到了無人職守,同時在工藝選材上采用推薦和客戶要求統一的方法,使設備與其它同類產品相比較,具有更高的性價比和設備可靠性。

二、設計標準及依據

1. 根據用戶提供的詳細水質報告“量身定製”。

2. 水處理設備技術條件《JB/T 2932-1999》

3. 反滲透水處理設備標準《CJ/T119-2000》

4. 低壓開關設備和控製設備成套裝置《IEC439-1 》

5. 實驗室超純水技術指標標準《GB6682-2008 》

6. 國家電子級超純水規格《GB/T11446.1-1997》

三、工藝流程

1、 原水-原水加壓泵-多介質過濾器-活性炭過濾器-軟水器-精密過濾器-第一級反滲透-PH調節-中間水箱-第二級反滲透-純化水箱-純水泵-EDI係統-超純水箱-純水泵-拋光裝置-終端超濾-用水點

四、設計特點

1. 係統采用全自動控製(同時亦可采用手動控製),係統運行時可設定自動反洗、再生程序;

2. 各單元接線均在工廠內統一完成,減少安裝調試時間;

3. 一級反滲透和二級反滲透設有回流管道,反滲透設備設有化學清洗裝置;

4. 管道一般采用UPVC材質;

5. 集成控製係統和集成儀表係統等,方便操作管理;

6. RO膜定時清洗 具有開機和定時清洗RO膜功能,延長RO膜使用壽命;

7. 水回收率 通過特殊的工藝設計,大幅提高了設備的回收率,最高可達70%;

8. 設備具有耗材更換自動提示功能,並且耗材的更換周期取決於水質和壓力的變化,而非根據耗材的使用時間,考慮到了各地水質的差異,設計更科學;

9. 自我保護功能 源水缺水自動停機保護功能同時具有水箱缺水自動產水、滿水自動停機功能。


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